安装不好将会使压升率达不到技术要求，长期使用之后，真空热处理供应商，真空炉的压升率也会增大。当真空度压升率恶化到一定程度后，真空热处理，处理零件的表面下降，加热元件的使用寿命会明显降低，这是需要对炉子检漏，并排除漏气原因。检漏及排除漏气因素的目的就是使漏气率达到技术条件要求。1）由于存在漏孔产生的漏气；2）由渗透产生的漏气；渗透式指气体不是通过固体中的漏孔方式漏气的现象，而是气体吸附在固体的高压一侧表面上，然后沿浓度梯度向固体低压的一侧扩散。在真空炉中的金属、玻璃、橡皮、陶瓷等材料，都是可以渗透气体的。
预抽真空回火炉是一种保护气氛热处理炉。真空回火炉对炉内的氧化气氛排除的方法有充气法和换气法。充气法是对炉膛连续充、放气，真空热处理设计，赶出炉内的氧化杂质气体，使炉内的气氛纯度达到要求。换气法是利用机械泵对炉内的氧化气体抽出，再充入保护气体，然后再抽出不纯气体，充入保护气，真空热处理，这样反复进行几次直到炉内气体纯度合格。高合金钢真空回火的真空度选用133mpa对应炉内的残氧量为0.132%。
真空炉一般由主机、炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统、控温系统和炉外运输车等组成。密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。为防止炉壳受热后变形和密封材料受热变质，炉壳一般用水冷或气冷降温。炉膛位于密封炉壳内。根据炉子用途，炉膛内部装有不同类型的加热元件，如电阻、感应线圈、电极和电子枪等。熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩埚，有的还装有自动浇注装置和装卸料的机械手等。真空系统主要由真空泵、真空阀门和真空计等组成。
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