与常规热处理相比，真空热处理加工技术可同时实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。
其实，真空热处理加工技术在国外应用的较早，美国和日本在1968年，先后研制出真空淬火油和水剂淬火介质，从而，真空淬火技术在热处理行业得到迅速发展，调质热处理加工厂，从单室炉发展到了多组合机群，从一般的真空淬火发展到高压气淬、真空水剂淬火、真空渗碳、真空碳氮共渗及多元共渗等。
根据钢冷却转变规律，希望在临界区域温度时冷却速度大，调质热处理打样，尽快通过c曲线的鼻子区域，以免转变成珠光体或贝氏体组织，在马氏体转变开始的危险区域，调质热处理加工，冷却速度必须慢下来以减少组织转变产生组织应力引起的变形甚至裂纹。双液淬火先在水中淬火然后转到油中冷却的道理即是如此。单液淬火即要求冷却介质具备这样的冷却特性：临界区域温度时冷却速度快，危险区域温度时冷却速度要慢下来。淬火油的选择原则之二：高温时快冷低温时慢冷，---硬度与变形的要求。
不同材料的临界冷却速度不一样，零件使用时的硬度要求也不一样，零件的精度、控制变形要求也不同，这就需要根据硬度要求和控制变形的工艺技术要求的实际情况，选择冷却速度适当的淬火油。淬火油确定选用后，通过控制原材料（零件材料和油品材料）的与选择调整淬火温度、油温、搅拌冷却速度与时间，调质热处理，入油时间等各项控制措施，结合淬火后的回火工艺，回火温度，回火时间参数试验来满足零件的硬度要求和金相组织要求，通过热处理工艺过程参数调整与控制及与机加工的冷热协调，控制热处理变形在合理范围内。
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