预抽真空回火炉是一种保护气氛热处理炉。真空回火炉对炉内的氧化气氛排除的方法有充气法和换气法。充气法是对炉膛连续充、放气，赶出炉内的氧化杂质气体，使炉内的气氛纯度达到要求。换气法是利用机械泵对炉内的氧化气体抽出，再充入保护气体，然后再抽出不纯气体，充入保护气，这样反复进行几次直到炉内气体纯度合格。高合金钢真空回火的真空度选用133mpa对应炉内的残氧量为0.132%。
使金属经受---的热量不仅会影响其结构，电阻和磁性，还会使其膨胀。热膨胀是不言自明的。金属在经受特定温度时会膨胀，特定温度会根据金属而变化。金属的实际结构也会随着热量而变化。称为同素异形相变，热量通常会使金属更软，更弱并且更具延展性。延展性是将金属拉伸成金属丝或类似材料的能力。热量也会影响金属的电阻。金属越热，真空热处理，电子散射越多，真空热处理加工厂，从而使金属对电流的耐受性更高。
维护是热处理设备不可或缺的事实。通常，维护成本随着工作温度的升高或过程环境的恶化而急剧增加（例如渗碳与淬火），尽管真空炉经常在高温度额定值以下运行，但事实仍然如此。与所有设备一样，某些样式和设计需要比其他样式和设计更多的关注。但是，有趣的是，真空热处理加工，热处理设备的构造通常可以按所需的维护量分为“重型”或“轻型”。当然，如果任何炉子超出其设计---而运行，这几乎总是意味着需要进行更广泛的维护。
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