对一些精密复杂的模具可采用预先热处理、时效热处理、调质氮化热处理来控制模具的精度。
在修补模具砂眼、气孔、磨损等缺陷时，选用冷焊机等热影响小的修复设备以避免修补过程中变形的产生。
热处理厂阐述另外，正确的热处理工艺操作(如堵孔、绑孔、机械固定、适宜的加热方法、正确选择模具的冷却方向和在冷却介质中的运动方向等)和合理的回火热处理工艺也是减少精密复杂模具变形的有效措施。
过回火，这是由回火温度设置过高、控温系统故障误差或炉温过高时入炉造成，应当修正工艺温度，检修校核控温系统，不高于设置炉温装入。
脱碳，这是由原材料残留脱碳层或淬火加热时造成，预防措施为可控气氛加热，盐浴加热，真空炉、箱式炉采用装箱保护或使用防氧化涂料：机加工余量加大2~3mm。
冷却不当，原因是预冷时间过长，冷却介质选择不当，淬火介质温度渐高而冷却性能下降，高频热处理厂家，搅拌---或出槽温度过---，阳江高频热处理，措施：出炉、入槽等要快；掌握淬火介质冷却特性；油温60-80℃ ，水温30℃c以下，当淬火量大而使冷却介质升温时，应添加冷却淬火介质或改用其它冷却槽冷却；加强冷却剂的搅拌；在ms+50℃时取出。
国内真空炉的压升率应不大于1.33pa/h，国外某些公司的规范为0.67pa/h。真空加热以辐射为主，工件在炉内大概坚持距离.升温过程中，工件及炉内资料会放气，使真空度降低.8，真空回火、真空退火、真空固溶处置及真空时效的加热温度通常与惯例处置时加热温度一样.真空热处理真空回火炉大概具有快冷设备。冷却水的压力大概大于0.2mpa，高频热处理加工厂商，流量应可调.冷却气体：钢通常选用百分之99.99纯度的氮气，高频热处理厂，高温合金选用百分之99.99的氢气或亚气，钛合金选用百分之99.99的亚气.真空热处理升温：放入工件后，通常先预抽至6.67pa时方可升温加热。
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